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前级泵的配置及抽速确定
主真空泵选定之后,如何配置前级泵,需遵守的原则是:
求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;
抽走主真空泵产生的气体量;
必须满足主真空泵进气口能工作的压力时所需的预抽时间要求。
不同的主真空泵,其前级泵配置各异,分述如下。
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水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点:
结构简单,制造精度要求不高,广东进口真空泵叶片,容易加工。结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。
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按性能特点和用途分类
(1)低真空泵
泵的---压力高于102pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
(2)中真空泵
---压力在102~-10-1pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
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